專用圖形發(fā)生器組成：

　　高速數(shù)字信號處理器（DSP）；

　　高精度圖形數(shù)據(jù)采集器；

　　先進(jìn)、快速的SCSI接口帶有溫控的16位數(shù)模轉(zhuǎn)換器（D/A）5”液晶跟蹤顯示器（LCD）控制用PC計(jì)算機(jī)（Windows操作系統(tǒng)）；

專用圖形發(fā)生器軟件功能：

　　接受GDSⅡ、CIF和DXF圖形數(shù)據(jù)格式；

　　繪圖功能（矩形、三角形、梯形、圓形、圓環(huán)、扇 形和任意曲線圖形）；

　　加工過程控制（曝光、工件臺移動、束閘通斷）；

　　掃描場位置、尺寸和旋轉(zhuǎn)修正；

　　標(biāo)記檢測與位置修正；

　　鄰近效應(yīng)修正；

　　加工過程跟蹤顯示；